DEVICE FOR PLASMA TREATMENT AT ATMOSPHERIC PRESSURE
Eine Vorrichtung (1) zur Plasmabehandlung weist eine Elektrode (2), vor der eine dielektrische Abschirmung (3) angeordnet ist, und eine Wechselhochspannungsquelle (6), um eine Wechselhochspannung an die Elektrode (2) anzulegen, auf, um zur Erzeugung eines Plasmas (9) eine dielektrisch behinderte Gas...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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Zusammenfassung: | Eine Vorrichtung (1) zur Plasmabehandlung weist eine Elektrode (2), vor der eine dielektrische Abschirmung (3) angeordnet ist, und eine Wechselhochspannungsquelle (6), um eine Wechselhochspannung an die Elektrode (2) anzulegen, auf, um zur Erzeugung eines Plasmas (9) eine dielektrisch behinderte Gasentladung (11) in einem vor der dielektrischen Abschirmung (3) angeordneten, auf Atmosphärendruck befindlichen Gas (10) hervorzurufen. Dazu weist die Oberfläche (14) der Elektrode (2) eine flächige Verteilung von dem Gas (10) vor der dielektrischen Abschirmung (3) zugewandten Spitzen auf, wobei die dielektrische Abschirmung (3) der Elektrode (2) selbst eine dem Gas (10) vor der dielektrischen Abschirmung (3) zugewandte plane äußere Oberfläche (15) aufweist.
The invention relates to a device (1) for plasma treatment, comprising an electrode (2) upstream of which a dielectric shield (3) is arranged, and an AC high voltage source (6) for applying an AC high voltage to the electrode (2) in order to bring about a dielectrically shielded gas discharge (11) in a gas (10) that is arranged upstream of the dielectric shield (3) and is at atmospheric pressure, thereby producing a plasma (9). For this purpose, pointed structures are distributed across the surface (14) of the electrode (2), said structures facing the gas (10) upstream of the dielectric shield (3), while the dielectric shield (3) of the electrode (2) has a planar outer surface (15) facing the gas (10) upstream of the dielectric shield (3).
La présente invention concerne un dispositif (1) de traitement au plasma, présentant une électrode (2) en amont de laquelle se trouve un écran diélectrique (3), et une source de haute tension alternative (6) qui sert à appliquer une haute tension alternative à l'électrode (2), afin de provoquer une décharge de gaz (11) limitée par l'écran diélectrique, dans un gaz (10) sous pression atmosphérique qui se trouve en amont de l'écran diélectrique (3), de façon à produire un plasma (9). A cet effet, la surface (14) de l'électrode (2) présente une répartition plane des pointes orientées vers le gaz (10) en amont de l'écran diélectrique (3), l'écran diélectrique (3) de l'électrode (2) présentant lui-même une surface extérieure plane (15) orientée vers le gaz (10) en amont de l'écran diélectrique (3). |
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