INTEGRATED MICRO FUEL CELL APPARATUS
A micro fuel cell and method of forming such includes depositing multiple layers (22) of alternating metals over a substrate (12); etching at least one metal from the multiple layers (22) creating a void between the remaining layers; forming a plurality of pedestals (28) in the multiple layers (22),...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | A micro fuel cell and method of forming such includes depositing multiple layers (22) of alternating metals over a substrate (12); etching at least one metal from the multiple layers (22) creating a void between the remaining layers; forming a plurality of pedestals (28) in the multiple layers (22), each pedestal (28) having a center anode (29) portion and a concentric cathode (31) portion separated by a concentric cavity (31); filling the concentric cavity (31) with an electrolyte; and capping the center anode (29) portion and the concentric cavity (31).
Le procédé selon l'invention de fabrication d'une micro-pile à combustible consiste à déposer des couches multiples (22) de métaux alternés sur un substrat (12) ; à graver au moins un métal des couches multiples (22) de façon à créer un vide entre les couches restantes ; à constituer une pluralité de massifs (28) dans les couches multiples (22), chaque massif (28) comportant une portion d'anode centrale (29) et une portion de cathode concentrique (31) séparées par une cavité concentrique (31) ; à remplir la cavité concentrique (31) d'un électrolyte ; et à recouvrir la portion d'anode centrale (29) et la cavité concentrique (31). |
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