DIRECT LIQUID INJECTOR DEVICE

A device for mixing, vaporizing and communicating a precursor element in a highly conductive fashion to a remote processing environment. A supply meter admits a precursor liquid according to a piezo controlled valve, which communicates therewith for controlling flow into a mixing manifold. A vaporizer manifold in cooperation with a carrier gas supply provides a carrier gas for contemporaneous delivery into the mixing manifold. A vaporizing component having at least a heating element in communication with the mixing manifold, in cooperation with a mixing (frit) material provided in the vaporizer body, causes a phase change of the liquid precursor into a vapor output. Delivery of the vapor outlet occurs along at least one high conductance run/vent valve located downstream from the vaporizing body, typically built into the vaporizer manifold architecture, and provides for metering of the vapor into a remote process chamber. L'invention concerne un dispositif destiné à mélanger, à vaporiser et à mettre en communication un élément précurseur de façon hautement conductrice avec un environnement de traitement distant. Un compteur d'alimentation admet un liquide précurseur sous l'action d'une valve à commande piézoélectrique communiquant avec celui-ci en vue de réguler l'écoulement entrant dans un collecteur de mélange. Un collecteur vaporiseur en coopération avec une alimentation de gaz porteur fournit un gaz porteur destiné à être délivré simultanément dans le collecteur de mélange. Un composant de vaporisation doté d'au moins un élément chauffant en communication avec le collecteur de mélange, en coopération avec un matériau de mélange (fritte) amené dans le corps du vaporiseur, provoque un changement de phase du précurseur liquide en une sortie sous forme de vapeur. La distribution de la sortie de vapeur se fait par au moins une vanne à haute conductance de passage / de ventilation située en aval du corps du vaporiseur, généralement intégrée à l'architecture du collecteur vaporiseur, et permet le comptage de la quantité de vapeur acheminée vers une chambre de traitement distante.