SENSORS FOR DYNAMICALLY DETECTING SUBSTRATE BREAKAGE AND MISALIGNMENT OF A MOVING SUBSTRATE

An apparatus and method incorporating at least two sensors (140A, 140B) that detect the presence of substrate defects such as breakage or misalignment, along the lengths of at least two parallel edges of a moving substrate (106). In one embodiment the apparatus includes a sensor arrangement that sense a substrate near at least to parallel edges for detecting substrate defects ' In another embodiment, the apparatus includes a robot (114 or 130) having a substrate support surface, and a sensor arrangement that sense a substrate near at least two parallel edges for detecting substrate defects. La présente invention concerne un appareil et un procédé permettant d'incorporer au moins deux capteurs (140A, 140B) qui détectent la présence de défauts de substrat telles une rupture ou une erreur d'alignement, sur les longueurs d'au moins deux bords parallèles d'un substrat mobile (106). Dans un mode de réalisation, l'appareil comprend un ensemble de capteurs qui détecte un substrat à proximité d'au moins deux bords parallèles afin de détecter les défauts de substrat. Dans un autre mode de réalisation, l'appareil comprend un robot (114 ou 130) doté d'une surface de support de substrat et un ensemble de capteurs qui détecte un substrat à proximité d'au moins deux bords parallèles afin de détecter des défauts de substrat.