GAS SWITCHING SECTION INCLUDING VALVES HAVING DIFFERENT FLOW COEFFICIENTS FOR GAS DISTRIBUTION SYSTEM

A gas switching system for a gas distribution system for supplying different gas compositions to a chamber, such as a plasma processing chamber of a plasma processing apparatus, is provided. The chamber can include multiple zones, and the gas switching section can supply different gases to the multiple zones. The switching section can switch the flows of one or more gases, such that one gas can be supplied to the chamber while another gas can be supplied to a by-pass line, and then switch the gas flows. L'invention concerne un système de permutation de gaz pour système de distribution de gaz fournissant des compositions différentes de gaz à une chambre, telle qu'une chambre de traitement par plasma d'un appareil de traitement par plasma. La chambre peut comprendre des zones multiples et la section de permutation de gaz peut fournir des gaz différents aux zones multiples. La section de permutation peut permuter les flux d'un ou plusieurs gaz, de telle sorte qu'un gaz peut être fourni à la chambre tandis qu'un autre gaz peut être fourni à une ligne de dérivation, et ensuite permuter les flux de gaz.