A SEALED ENCLOSURE FOR TRANSPORTING AND STORING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES

The present invention relates to a sealed enclosure for transporting and storing semiconductor substrates, the enclosure comprising a sealed container and support means placed inside the container and including trays for supporting substrates. The container comprises two touching half-shells that can be spaced apart in order to open the container, and each end of said support means is secured mechanically to a respective one of said half-shells. The total height of said means varies depending on whether the container is opened or closed, the trays being separated from one another by equal distances. Said support means preferably comprise an alternation of segments and bail joints having end segments that are mechanically connected to respective ones of the half-shells. Under such circumstances, the total height of said support means varies by the alternation of segments and bail joints moving concertina-like. La présente invention concerne une enceinte fermée hermétiquement pour transporter et stocker des substrats à semi-conducteur, l'enceinte comprenant un contenant fermé hermétiquement et des moyens de support placés à l'intérieur du contenant et comprenant des plateaux pour supporter des substrats. Le contenant comprend deux demi-coques qui se touchent et peuvent être espacées l'une de l'autre afin d'ouvrir le contenant, et chaque extrémité desdits moyens de support est fixée mécaniquement à une demi-coque respective desdites demi-coques. La hauteur totale desdits moyens varie suivant que le contenant est ouvert ou fermé, les plateaux étant séparés les uns des autres par des distances égales. Lesdits moyens de support comprennent de préférence une alternance de segments et joints à étrier qui possèdent des segments d'extrémité qui sont reliés mécaniquement à des demi-coques respectives parmi les demi-coques. Dans de telles circonstances, la hauteur totale desdits moyens de support varie selon l'alternance de segments et joints à étrier qui se déplacent en accordéon.