IN SITU CLEANING PROCESS FOR FIELD EFFECT DEVICE SPACERS
A method is provided for in situ cleaning of spacers (42) separating an anode (14) and cathode (12) of a flat panel display (10) in a vacuum by impacting electrons upon the spacers (42). Cette invention concerne un procédé permettant de nettoyer in situ des cales d'espacement (42) séparant une...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| Zusammenfassung: | A method is provided for in situ cleaning of spacers (42) separating an anode (14) and cathode (12) of a flat panel display (10) in a vacuum by impacting electrons upon the spacers (42).
Cette invention concerne un procédé permettant de nettoyer in situ des cales d'espacement (42) séparant une anode (14) d'une cathode (12) d'un écran plat (10) dans un vide par collision d'électrons sur les cales d'espacement (42). |
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