COOLING MODULE FOR CHARGED PARTICLE BEAM COLUMN ELEMENTS

We have developed a method and apparatus for cooling electromagnetic lens coils of the kind used in charged particle beams. The method and apparatus provide not only a symmetrical cooling effect around the optical axis of the charged particle beam, but also provide improved uniformity of heat transfer. This improved uniformity enables control over the optical axis of the charged particle beam within about 1 nm for high current charged particle beam columns, wherein the current ranges from about 100 nanoamps to about 1000 nanoamps. The use of a squat and wide electromagnetic lens coil in combination with an essentially flat modular cooling panel, which provides uniform cooling to the electromagnetic lens coil, not only enables control over the optical axis of the charged particle beam, but also provides mechanical stability for the charged particle beam column. Nous avons mis au point un procédé et un appareil destinés à refroidir des bobines de lentilles électromagnétiques telles que celles utilisées dans des faisceaux de particules chargées. Ce procédé et cet appareil permettent non seulement d'obtenir un effet de refroidissement symétrique autour de l'axe optique du faisceau de particules chargées, mais également d'obtenir une uniformité de transfert de chaleur améliorée. Cette uniformité améliorée permet une régulation sur l'axe optique du faisceau de particules chargées dans environ 1 nm pour les colonnes à faisceaux de particules chargées, le courant étant compris entre environ 100 nanoampères et environ 1000 nanoampères. L'utilisation d'une bobine de lentille électromagnétique trapue et large en combinaison avec un panneau de refroidissement modulaire essentiellement plat, qui assure un refroidissement uniforme pour la bobine de lentille électromagnétique, permet non seulement d'obtenir une régulation sur l'axe optique du faisceau de particules chargées, mais également d'obtenir une stabilité mécanique pour la colonne à faisceau de particules chargées.