METHOD AND DEVICE FOR IGNITING AND GENERATING AN EXPANDING DIFFUSE MICROWAVE PLASMA AND METHOD AND DEVICE FOR PLASMA TREATING SURFACES AND SUBSTANCES BY USING THIS PLASMA

Es wird ein Verfahren zum Zünden und Erzeugen eines sich ausbreitenden, diffusen Mikrowellenplasmas und eine Vorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens offenbart. Das Verfahren ist insbesondere zum Erzeugen von Mikrowellenplasmen zum Zweck der Plasmabehandlung von Oberflächen und Stoffen insbesondere von dreidimensionalen Gegenständen als auch von Partikeln unter Atmosphärendruck geeignet. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zum Zünden und Erzeugen solchen Plasmas anzugeben, welches insbesondere im Normal- und Hochdruck einfach und betriebssicher sowie prinzipiell ohne Gasströmung zu realisieren ist. Ebenso soll ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Oberflächen und Stoffen mittels eines solchen Plasmas entwickelt werden, welches durch seine große Stabilität hinsichtlich Plasmagenerierung und Unterhaltung, geringem Gasverbrauch und großem Plasmavolumen eine effektive Plasmabehandlung möglich macht. Die Lösung besteht darin, dass innerhalb einer wellenbegrenzenden Hohlstruktur eine Plasmazündung durch Mikrowelleneinkopplung über eine resonante Zündstruktur erfolgt, ein gleichzeitiges Treiben des Plasmas durch die resonante Zündstruktur hingegen nicht möglich ist. Das gezündete Plasma über ein umliegendes Mikrowellenfeld so mit Energie gespeist wird, dass ein sich ausbreitendes, diffuses Plasma entsteht. Eine besondere Ausgestaltung in einer koaxialen Anordnung ermöglicht die Generierung eines aus der Vorrichtung heraustretenden Plasmas zum Zweck der mobilen Plasmabehandlung. The invention relates to a method for igniting and generating an expanding diffuse microwave plasma and to a device for carrying out such a method. The method is particularly suited for generating microwave plasmas for the purpose of carrying out plasma treatment of surfaces and substances, particularly three-dimensional objects as well as particles under atmospheric pressure. The aim of the invention is to provide a method for igniting and generating these plasmas that is, particularly under normal and high pressure, easy and operationally safe as well as, in principle, carried out without a flow of gas. The invention also relates to a method and device for carrying out plasma treatment of surfaces and substances by means of such a plasma, which makes an effective plasma treatment possible due to its high stability with regard to plasma generation and maintenance, low gas consumption and a high plasma volume. To this end, a plasma ignition ensues