SUBSTRATE ALIGNMENT USING LINEAR ARRAY SENSOR

The position of a substrate's edge is detected using a substrate alignment system that includes, in part, a light source, an optical module adapted to receive a light emanating from the light source to form a multi-dimensional light beam; and an array sensor positioned at a focal plane of the optical module and oriented substantially perpendicular to the sample's edge. The substrate alignment system detects the substrate's edge position as soon as the substrate is loaded and placed within the capture range of the linear array sensor. As long as the substrate's edge position is within the capture range, the substrate does not have to be moved to determine its position relative to the tool's coordinate space. The capture range is substantially larger than the position accuracy required. The sensor array includes a multitude of sensors disposed along one or more rows. Dans la présente invention, la position du bord d'un substrat est détectée au moyen d'un système d'alignement de substrat dont les éléments sont, en partie, une source de lumière, un module optique adapté pour recevoir la lumière émanant de la source de lumière pour former un faisceau lumineux multidimensionnel; et un capteur à matrice disposé sur un plan focal du module optique et orienté sensiblement perpendiculairement au bord de l'échantillon. Le système d'alignement du substrat détecte la position du bord du substrat dès que le substrat est chargé et placé dans la zone de capture du capteur à matrice linéaire. Tant que la position du bord du substrat est située dans la zone de capture, le substrat n'a pas besoin d'être déplacé pour déterminer sa position par rapport à l'espace de coordonnée de l'outil. La zone de capture est sensiblement plus large que la précision de position nécessaire. La matrice du capteur comprend une multitude de capteurs disposés le long d'une ou plusieurs lignes.