MEMS FILTER MODULE WITH MULTI-LEVEL FILTER TRAPS

A MEMS flow module (340) includes a plurality of filtering sections (344). Each filtering section (344) is defined by a stack (342) of a plurality of layers (346, 348, 350, 352). Each filtering section (344) includes at least one filter trap (364, 368) at each of at least two different levels or ele...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	RODGERS, M. STEVEN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEPARATION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A MEMS flow module (340) includes a plurality of filtering sections (344). Each filtering section (344) is defined by a stack (342) of a plurality of layers (346, 348, 350, 352). Each filtering section (344) includes at least one filter trap (364, 368) at each of at least two different levels or elevations within the stack (342). This provides for an increased flow rate through the MEMS flow module (340). Selon l'invention, un module de flux MEMS (340) comprend une pluralité de sections de filtrage (344). Chaque section de filtrage (344) est formée par une pile (342) d'une pluralité de couches (346, 348, 350, 352). Chaque section de filtrage (344) comprend au moins un piège de filtre (364, 368) au niveau de chaque niveau ou élévation parmi au moins deux différents niveaux ou élévations au sein de la pile (342). Ceci permet un débit accru à travers ledit module d'écoulement MEMS (340).