SYSTEM AND METHOD OF SLURRY TREATMENT

Wastewater streams from semiconductor processing operations are treated to reduce the concentration therein of one or more metal species to a satisfactory level. The disclosed systems and technique utilize complexing ion exchange media to treat the wastewater streams having a significant concentrati...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	DAY, JAMES, C, WOODLING, RICHARD, WISMER, MICHAEL, W
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	CHEMISTRY METALLURGY TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Wastewater streams from semiconductor processing operations are treated to reduce the concentration therein of one or more metal species to a satisfactory level. The disclosed systems and technique utilize complexing ion exchange media to treat the wastewater streams having a significant concentration of oxidizing species. Des flux d'eaux usées en provenance d'opérations de traitement de semi-conducteurs sont traitées afin de réduire la concentration dans ceux-ci d'une ou de plusieurs espèces chimiques métalliques à un niveau satisfaisant. Les systèmes et la technique de l'invention utilisent un milieu d'échange d'ions complexants pour traiter ces flux d'eaux usées possédant une concentration importante d'espèces chimiques oxydantes.