LOW VAPOR PRESSURE GAS SYSTEM

A system and apparatus (100) for manufacturing a low vapor pressure vapor stream lean in low volatility contaminants, and delivering same to a point of use. The system provides a transport vessel (10) having a liquid phase or two-phase fluid held therein. The liquid and/or two-phase is transferred from said transport vessel (10) to a vaporization vessel (40) , wherein at least part of the liquid is vaporized. A liquid stream that is enriched in low volatility contaminants is withdrawn from the vaporization vessel (40) , and a stream that is lean in low volatility contaminants is withdrawn from the vaporization vessel (10) . The low vapor pressure stream is delivered to a point of use and the purity is maintained within a desired range . L'invention concerne un système et un appareil (100) permettant de produire un flux de vapeur à faible pression de vapeur appauvri en contaminants à faible volatilité, et de distribuer celui-ci à un point d'utilisation. Le système de l'invention comprend une cuve de transport (10) dans laquelle est disposé un fluide en phase liquide ou biphasique. Le fluide en phase liquide et/ou biphasique est transféré de ladite cuve de transport (10) à une cuve de vaporisation (40), dans laquelle au moins une partie du liquide est vaporisée. Un flux liquide qui est enrichi en contaminants à faible volatilité est retiré de la cuve de vaporisation (40), et un flux appauvri en contaminants à faible volatilité est retiré de la cuve de vaporisation (40). Le flux à faible pression de vapeur est distribué à un point d'utilisation et la pureté est maintenue dans une plage désirée.