SINGLE CRYSTAL DIAMOND ELEMENTS HAVING CONVEX SURFACES AND METHODS OF ITS FABRICATION

A single crystal diamond element having a convex surface is disclosed, the convex surface including a spherical segment for which the maximum peak to valley deviation from a perfect spherical surface is less than about 5 µm. Alternatively or in addition, the RMS deviation from a perfect spherical su...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GODFRIED, HERMAN PHILIP, PELS, GERRIT JAN, OERLE, BARTHOLOMEUS MATHIAS VAN, NELISSEN, WILHELMUS GERARDA MARIA, KRIELE, PAULUS ADRIANUS CORNELIS, SPAAY, PAULUS GERARDUS HENDRICUS MARIA, SCARSBROOK, GEOFFREY ALAN, HOUWMAN, EVERT PIETER, MCCLYMONT, MARK ROBIN, LAMERS, JOHANNES CORNELIS, WORT, CHRISTOPHER JOHN HOWARD
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A single crystal diamond element having a convex surface is disclosed, the convex surface including a spherical segment for which the maximum peak to valley deviation from a perfect spherical surface is less than about 5 µm. Alternatively or in addition, the RMS deviation from a perfect spherical surface may be less than about 500 nm, or the RMS roughness less than about 30 nm. A single crystal diamond element with a radius of curvature less than about 20 mm is also disclosed. In one aspect a single crystal diamond element having a conical half-angle greater than about 10° is described. The invention also provides a method for forming a rotationally symmetrical surface on a single crystal diamond element, comprising rotating the element about a first axis, applying a laser beam to the element in a direction perpendicular to the first axis, and translating the laser beam in two dimensions in a plane perpendicular to the direction of the beam. If the two-dimensional path follows the arc of a circle a spherical surface may be formed. The invention also provides improving a spherical surface on a single crystal diamond element by pressing a rapidly rotating cup onto a slowly rotating element. The element may be a lens, in particular a solid immersion lens. L'invention porte sur un élément en diamant monocristallin à surface convexe, la surface convexe comprenant un segment sphérique pour lequel l'évidement maximal par rapport à une surface sphérique parfaite est inférieur à 5 ?m environ. Dans un mode de réalisation différent ou complémentaire, l'écart quadratique par rapport à une surface sphérique parfaite peut être inférieur à 500 nm environ, ou la rugosité quadratique inférieure à 30 nm environ. L'invention concerne également un élément en diamant monocristallin d'un rayon de courbure inférieur à 20 mm environ. Dans un aspect, l'invention se rapporte à un élément en diamant monocristallin possédant un demi-angle conique supérieur à 10° environ. L'invention se rapporte aussi à un procédé permettant de former une surface rotativement symétrique sur un élément en diamant monocristallin, qui consiste à faire tourner ledit élément autour d'un premier axe, à appliquer un faisceau laser à l'élément dans une direction perpendiculaire au premier axe, et à déplacer par translation le faisceau laser dans deux dimensions dans un plan perpendiculaire à la direction du faisceau. Si la trajectoire bidimensionnelle suit l'arc de cercle, on peut former une surface sphérique