SYSTEM AND METHOD FOR POSITIONING AN OBJECT

A motion system includes a first stage that is configured to rotate about a first axis and a second stage coupled to the first stage that includes an object carrier adapted to position an object in at least one other axis. The motion system has a novel arrangement of laser interferometer elements and axes of motion. The arrangement' permits accurate and precise measurement of a position of the object carrier in up to three (or more) axes of motion even as the first stage of the motion system is tilted through relatively large angles. The novel arrangement of the axes of motion also enables very precise control of the position of the object carrier even at high tilt angles. La présente invention concerne un système de mouvement qui comprend un premier étage configuré pour tourner autour d'un premier axe et un second étage couplé au premier étage qui comprend un porteur d'objet conçu pour positionner un objet dans au moins un autre axe. Le système de mouvement comprend un nouvel agencement d'éléments d'interféromètre laser et d'axes de mouvement. L'agencement permet la mesure précise et exacte d'une position du porteur d'objet dans trois (ou plus) axes de mouvement même lorsque le premier étage du système de mouvement est incliné à des angles relativement importants. Le nouvel agencement des axes de mouvement permet également le contrôle très précis de la position du porteur d'objet même à des angles d'inclinaison élevés.