TUNING FORK GYROSCOPES, ACCELEROMETERS, AND OTHER SENSORS WITH IMPROVED SCALE FACTOR

A tuning fork gyroscope design where at least one proof mass is supported above a substrate. At least one drive electrode is also supported above the substrate adjacent the proof mass. Typically, the proof mass and the drive electrode include interleaved electrode fingers. A sense plate or shield electrode on the substrate beneath the proof mass extends completely under the extent of the electrode fingers of proof mass. L'invention concerne une conception de gyroscope à diapason dans laquelle au moins une masse d'épreuve est portée au-dessus d'un substrat. Au moins une électrode de commande est également portée au-dessus du substrat de manière adjacente à la masse d'épreuve. En général, la masse d'épreuve et l'électrode de commande comprennent des doigts d'électrode entrelacés. Une plaque de détection ou électrode de blindage montée sur le substrat disposé sous la masse d'épreuve s'étend entièrement sous l'étendue des doigts d'électrode de la masse d'épreuve.