FRESNEL ZONE PLATE AND X-RAY MICROSCOPE USING THE FRESNEL ZONE PLATE

[PROBLEMS] To provide a Fresnel zone plate having a complex irradiation function capable of improving resolution even when the outermost opaque band width cannot be reduced and an X-ray microscope using the Fresnel zone plane. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A Fresnel zone plate (1) having complex irra...

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1. Verfasser: ENDOH, HISAMITSU
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:[PROBLEMS] To provide a Fresnel zone plate having a complex irradiation function capable of improving resolution even when the outermost opaque band width cannot be reduced and an X-ray microscope using the Fresnel zone plane. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A Fresnel zone plate (1) having complex irradiation function have opaque bands (3) and transparent bands (4) arranged alternately in the radial direction from the center of a flat transparent substrate (2). The Fresnel zone plate have a transmission widow (7) so that a part of plane wave vertically applied onto the upper surface of the substrate (2) vertically advances directly to a sample (6) arranged below the Fresnel zone plate (1). Le problème à résoudre dans le cadre de cette invention consiste à prévoir une plaque à zones de Fresnel ayant une fonction d'irradiation complexe capable d'améliorer la résolution même lorsque la largeur de la structure opaque la plus extérieure ne peut pas être réduite, et un microscope à rayons X utilisant ladite plaque à zones de Fresnel. La solution proposée consiste en une plaque à zones de Fresnel (1) ayant une fonction d'irradiation complexe qui a des structures opaques (3) et des structures transparentes (4) disposées alternativement dans le sens radial à partir du centre d'un substrat plat et transparent (2). Ladite plaque à zones de Fresnel a une fenêtre de transmission (7) telle qu'une partie d'onde plane appliquée verticalement sur la surface supérieure du substrat (2) avance verticalement directement sur un échantillon (6) disposé au-dessous de la plaque à zones de Fresnel (1).