LASER ATOM PROBES

An atom probe includes a specimen mount that holds a specimen to be analyzed. A detector is spaced apart from the specimen mount. A local electrode with an aperture is located between the detector and the specimen mount. A laser is oriented to emit a laser beam toward the specimen mount at a nonzero angle with respect to the aperture plane, the aperture plane being oriented perpendicular to an ion travel path defined through the aperture between the specimen mount and the detector. La présente invention a trait à une sonde atomique comportant un support d'échantillons apte au maintien d'un échantillon à analyser. Un détecteur est espacé du support d'échantillons. Entre le détecteur et le support d'échantillons est prévue une électrode locale avec une ouverture. Un laser est orienté pour l'émission d'un faisceau laser vers le support d'échantillons à un angle non nul par rapport au plan de l'ouverture, le plan de l'ouverture étant orienté perpendiculaire au trajet de déplacement d'ions défini à travers l'ouverture entre le support d'échantillons et le détecteur.