FORCE COMPENSATED COMB DRIVE

A force compensated comb drive for a microelectromechanical system includes a MEMS mechanism for providing an output signal representative of a physical quantity; a comb drive for actuating the MEMS mechanism; a comb drive circuit for providing a drive signal to the comb drive for developing a predetermined displacement applied by the comb drive to the MEMS mechanism; an automatic gain control responsive to a change in the force to provide a correction signal to the comb drive circuit to maintain the predetermined motion; and a compensation device responsive to the correction signal for adjusting the output signal of the MEMS mechanism to compensate for errors in the output signal due to a change in the predetermined force. L'invention concerne un entraînement à peignes compensé par une force destiné à un système microélectromécanique comprenant un mécanisme MEMS qui permet de fournir un signal de sortie représentatif d'une quantité physique; un entraînement à peignes destiné à actionner le mécanisme MEMS; un circuit d'entraînement à peignes fournissant un signal de commande à l'entraînement à peignes afin de développer un déplacement prédéterminé appliqué par l'entraînement à peignes au mécanisme MEMS; une commande de gain automatique sensible à un changement de force permettant de fournir un signal de correction au circuit d'entraînement à peignes afin de conserver le déplacement prédéterminé; et un dispositif de compensation sensible au signal de correction permettant de régler le signal de sortie du mécanisme MEMS afin de compenser des erreurs dans le signal de sortie dues à un changement de la force prédéterminée.