INTEGRATED CIRCUIT CAPACITOR HAVING ANTIREFLECTIVE DIELECTRIC

A capacitor (100) is disclosed that is formed as part of an integrated circuit (IC) fabrication process. The capacitor has conductive top and bottom electrodes (140, 144) and a nonconductive capacitor dielectric (142). In one example, the dielectric includes first and second thin dielectric layers (112, 114) that sandwich a layer of antireflective material (118). The thin layers provide the dielectric behavior necessary for the capacitor while the antireflective layer promotes reduced feature sizes by mitigating reflected standing waves, among other things. L'invention concerne un condensateur (100) inclus dans le procédé de fabrication d'un circuit intégré. Le condensateur comporte des électrodes conductrices supérieure et inférieure (140, 144) ainsi qu'un diélectrique de condensateur non conducteur (142). Dans un premier exemple, le diélectrique comprend des première et seconde couches diélectriques minces (112, 114) entre lesquelles est intercalée une couche de matériau antireflet (118). Les couches minces exercent l'effet diélectrique nécessaire au condensateur alors que la couche antireflet favorise, entre autres, une largeur de traits réduite en atténuant les ondes stationnaires réfléchies.