SCRIBING TOOL AND METHOD

A scribing tool 10 for use in semiconductor scribing apparatus includes a rotatable semiconductor wafer scribing wheel 30 engageable with the semiconductor wafer 14 to form a scribe line when the tool exerts pressure on the semiconductor wafer and the scribing wheel rotates. Bearings 56 are engageable with the scribing wheel sides to resist sideways deflection during the scribing operation. Outil de traçage destiné à un dispositif de traçage pour semi-conducteurs, comprenant une roulette de traçage sur tranches de semi-conducteur qui entre dans la tranche de semi-conducteur et y forme une ligne sous l'effet de la pression exercée par l'outil et de la rotation de la roulette. Des paliers serrant les flancs de la roulette résistent aux flexions latérales pendant l'opération de traçage. L'outil de traçage est équipé d'une structure de nettoyage qui évacue les particules créées sur la tranche de semi-conducteur.