AUTOMATED SPUTTERING TARGET PRODUCTION AND SUB SYSTEMS THEREOF

A system and method are provided for manufacturing a workpiece or metal article, like a sputtering target or a component thereof or a component used with a sputtering target. The system is preferably automated, and may include Human Machine Interfaces (11, 23), a floor-supported bridge crane workstation (13), CNC machining stations (17,19), and a target resting station (25). Sub systems of the manufacturing system may include a weight station (15), an ultrasonic thickness measurement station (21), a degrease, clean, and dry station (27), a helium mass spectrometer leak test station (201), a grit blast station (29), an arc spray station (31), a cleaning station (33), an inert gas tunnel (35), and a packaging or bagging station (37). L'invention concerne un système et un procédé de fabrication d'une pièce ou d'un article métallique, par exemple une cible de pulverisation ou un composant de celle-ci, ou un composant utilisé avec une cible de pulvérisation. Le système est de préférence automatique. Les sous-systèmes du système de fabrication comprennent un sous-système de manipulation robotique des pièces, un sous-système de pondération adapté pour mesure le poids d'une pièce destinée à être convertie en cible de pulvérisation, et un sous-système d'usinage adapté pour effectuer l'usinage de finition de ladite pièce. Le système peut également comprendre un sous-système de nettoyage adapté pour nettoyer une cible de pulvérisation préfinie ou finie, un sous-système de contrôle adapté pour mesurer les dimensions de la cible de pulvérisation préfinie ou finie, et un sous-système de commande asservie adapté pour envoyer des signaux de commande à un ou plusieurs des sous-systèmes de manipulation robotique, de pondération, de nettoyage et de contrôle afin de commander le traitement exécuté par un ou plusieurs des sous-systèmes.