MICRO ELECTROMECHANICAL DEVICE FOR TILTING A BODY IN TWO DEGREES OF FREEDOM
The invention relates to a micro electromechanical device (1') for tilting a body (2) in two degrees of freedom comprising a carrier element (3) and a membrane (4), the body (2) being connected via the membrane (4) to the carrier element (3), wherein the body (2) and the carrier element (3) eac...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | The invention relates to a micro electromechanical device (1') for tilting a body (2) in two degrees of freedom comprising a carrier element (3) and a membrane (4), the body (2) being connected via the membrane (4) to the carrier element (3), wherein the body (2) and the carrier element (3) each comprise at least one electrode (5,6). The body (2) is tilted by means of electrostatic forces (7) between the at least one electrode (5) of the body (2) and the at least one electrode (6) of the carrier element (3) by an application of a voltage (V1,V2) to said electrodes (5,6) from a voltage source.
L'invention concerne un dispositif microélectromécanique (1') conçu pour incliner un corps (2) selon deux degrés de liberté, comprenant un élément de support (3) et une membrane (4). Le corps (2) est relié à l'élément de support (3) par l'intermédiaire de la membrane (4), et l'élément de support (3) ainsi que le corps (2) comprennent respectivement au moins une électrode (5, 6). Le corps (2) est incliné au moyen de forces électrostatiques (7), entre l'/les électrode(s) (5) du corps (2) et l'/les électrode(s) (6) de l'élément de support (3) par application, auxdites électrodes (5, 6), d'une tension (V1,V2) provenant d'une source de tension. |
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