LITHOGRAPHY AND ASSOCIATED METHODS, DEVICES, AND SYSTEMS

An apparatus for forming an energy pattern on a target, comprising a projector (70) including a first row of spaced-apart energy outlets (74) arranged in a first pattern, a second row of spaced apart energy outlets (74) arranged in a second pattern, wherein the first pattern is different than the second pattern, and comprising a platform (100) on which the target (80) can be mounted, a motor (110) and a controller (112). A method of forming a pattern in a layer of energy-sensitive material, comprising projecting a first energy pattern onto the energy-sensitive material, moving the first energy pattern relative to the layer of energy-sensitive material, projecting a second energy pattern onto the energy-sensitive material, wherein the second energy pattern is different than the first energy pattern, and moving the second energy pattern relative to the layer of energy-sensitive material. L'invention porte: sur un appareil de formation d'un motif par projection d'énergie sur une cible comprenant: un projecteur présentant une premier rangée d'orifices de projection d'énergie séparés (70) disposés selon un certain motif et une deuxième rangée d'orifices de projection d'énergie séparés (74) disposés selon un motif différent du premier; une plate-forme (100) sur laquelle on peut monter la cible; un moteur (110); et un contrôleur (112), et sur un procédé de formation d'un motif dans une couche de matériau sensible à l'énergie consistant: à projeter un premier motif à l'aide d'énergie sur la matériau sensible à l'énergie; à déplacer le premier motif d'énergie par rapport à la couche de matériau sensible à l'énergie; à projeter un deuxième motif différent du premier à l'aide d'énergie sur la matériau sensible à l'énergie et à déplacer le deuxième motif d'énergie par rapport à la couche de matériau sensible à l'énergie.