COMPUTER-IMPLEMENTED METHODS FOR DETECTING AND/OR SORTING DEFECTS IN A DESIGN PATTERN OF A RETICLE

Various computer-implemented methods are provided. One method for sorting defects in a design pattern of a reticle includes searching for defects of interest in inspection data using priority information associated with individual defects in combination with one or more characteristics of a region proximate the individual defects. The priority information corresponds to modulation levels associated with the individual defects. The inspection data is generated by comparing images of the reticle generated for different values of a lithographic variable. The images include at least one reference image and at least one modulated image. A composite reference image can be generated from two or more reference images. The method also includes assigning one or more identifiers to the defects of interest. The identifier(s) may include, for example, a defect classification and/or an indicator identifying if the defects of interest are to be used for further processing. On décrit divers procédés mis en oeuvre par ordinateur. Un procédé de tri de défauts dans un modèle de conception d'un réticule consiste à: rechercher des défauts d'intérêt dans des données d'inspection en utilisant des données de priorité associées à des défauts individuels, en combinaison avec une ou plusieurs caractéristiques d'une région proche des défauts individuels. Les données de priorité correspondent à des niveaux de modulation associés aux défauts individuels. Les données d'inspection sont obtenues par comparaison d'images du réticule produites pour différentes valeurs d'une variable lithographique. Les images comprennent au moins une image de référence et au moins une image modulée. Une image de référence composite peut être produite à partir de deux ou plusieurs images de référence. Le procédé consiste également à attribuer un ou plusieurs identificateurs aux défauts d'intérêt. Le ou les identificateurs peuvent comprendre, par exemple, une classification des défauts et/ou un indicateur qui déterminent si les défauts d'intérêt doivent être utilisés pour un nouveau traitement.