PLT/PZT FERROELECTRIC STRUCTURE

An electrically stable PbLa0.5TiO3/PbZr0.52Ti0.48O3 (PLT/PZT) ferroelectric structure may fabricated using precursor solutions formed using a simple sol-gel process. The PLT/PZT ferroelectric structure may be extended to a PLT/PZT/PLT ferroelectric capacitor structure. In terms of device application, better ferroelectric properties with reliable fatigue characteristics are desirable to render satisfactory performance. and long device life. The PLT/PZT/PLT ferroelectric capacitor structure excels over previous hybrid structures by providing a larger remnant polarization, higher saturation polarization, lower coercive field and leakage current density and higher resistance to fatigue. The fabrication method involving the use of a PLT seeding layer acts to lower the fabrication temperature of the subsequent PZT layer and allows for a simpler sequence of processing steps that may be seen to substantially reduce manufacturing costs. L'invention concerne une structure ferroélectrique PbLa0,5TiO3/PbZr0,52Ti0,48O3 (PLT/PZT) électriquement stable pouvant être fabriquée au moyen de solutions de précurseurs obtenues par la mise en oeuvre d'un procédé sol-gel simple. Cette structure ferroélectrique PLT/PZT peut être étendue à une structure de condensateur ferroélectrique PLT/PZT/PLT. En ce qui concerne l'application dispositif, de meilleures propriétés ferroélectriques à caractéristiques de fatigue fiables sont nécessaires pour obtenir des performances satisfaisantes et une durée de vie de dispositif longue. Cette structure de condensateur ferroélectrique PLT/PZT/PLT présente des propriétés bien supérieures à celles des structures hybrides antérieures, notamment une polarisation rémanente plus importante, une polarisation de saturation plus élevée, un champ coercitif et une densité de courant de fuite plus faibles et une résistance supérieure à la fatigue. Le procédé de fabrication selon l'invention consiste à utiliser une couche d'amorçage PLT destinée à baisser la température de fabrication de la couche PZT suivante, ce qui permet de simplifier la séquence d'étapes de traitement et de réduire ainsi sensiblement les coûts de fabrication.