GAS DISTRIBUTION SYSTEM FOR IMPROVED TRANSIENT VAPOR PHASE DEPOSITION

Embodiments of the present invention are directed to a gas distribution system which distributes the gas more uniformly into a process chamber. In one embodiment, a gas distribution system comprises a gas ring including an outer surface and an inner surface, and a gas inlet disposed at the outer surface of the gas ring. The gas inlet is fluidicly coupled with a first channel which is disposed between the outer surface and the inner surface of the gas ring. A plurality of gas outlets are distributed over the inner surface of the gas ring, and are fluidicly coupled with a second channel which is disposed between the outer surface and the inner surface of the gas ring. A plurality of orifices are fluidicly coupled between the first channel and the second channel. The plurality of orifices are spaced from the gas inlet by a plurality of distances, and have sizes which vary with the distances from the gas inlet as measured along the first channel, such that the size of the orifice increases with an increase in the distance between the orifice and the gas inlet as measured along the first channel. Des modes de réalisation de l'invention concernent un système de distribution de gaz qui permet de distribuer le gaz de manière plus uniforme dans une chambre de traitement. Dans un mode de réalisation, le système de distribution de gaz de l'invention comprend un brûleur comportant une surface extérieure et une surface intérieure, et une entrée de gaz disposée sur la surface extérieure du brûleur. L'entrée de gaz est couplée de manière fluidique à un premier canal qui est disposé entre la surface extérieure et la surface intérieure du brûleur. Une pluralité de sorties de gaz sont distribuées sur la surface intérieure du brûleur et sont couplées de manière fluidique à un second canal qui est disposé entre la surface extérieure et la surface intérieure du brûleur. Une pluralité d'orifices sont couplés de manière fluidique entre le premier canal et le second canal. La pluralité d'orifices sont espacés de l'entrée de gaz par une pluralité de distances, et possèdent des tailles qui varient avec les distances qui les séparent de l'entrée de gaz, mesurées le long du premier canal, de manière que la taille de l'orifice augmente au fur et à mesure que la distance mesurée le long du premier canal augmente entre l'orifice et l'entrée de gaz.