WAFER CONTAINER WITH SECONDARY WAFER RESTRAINT SYSTEM

The present invention relates to a wafer container providing improved wafer restraint during physical shock events. A secondary wafer restraint structure having a plurality of notches is interposed between opposing wafer restraint members on the door of the container. L'invention concerne un co...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BURNS, JOHN, FORBES, MARTIN, L, SMITH, MARK, V, KING, JEFFERY, J, FULLER, MATTHEW, A
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention relates to a wafer container providing improved wafer restraint during physical shock events. A secondary wafer restraint structure having a plurality of notches is interposed between opposing wafer restraint members on the door of the container. L'invention concerne un contenant de plaquette permettant une meilleure immobilisation de la plaquette durant des événements de chocs physiques. Dans certains modes de réalisation de cette invention, une structure d'immobilisation de plaquette secondaire définissant plusieurs encoches est placée entre des éléments d'immobilisation de plaquette opposés sur la porte du contenant. Ces encoches peuvent être définies par un ou plusieurs bords ou surfaces convergents se rencontrant au niveau d'une jonction. Les jonctions sont placées de façon à être alignées avec les parties réceptrices de plaquette de chaque paire opposée d'éléments d'immobilisation de plaquette de façon que lorsque la porte est complètement engagée de façon hermétique avec l'enveloppe du contenant, le bord de la plaquette soit en contact avec la jonction. Dans cette position, tout mouvement vertical de la plaquette provoqué par un choc transmis au contenant provoque le contact entre la plaquette et les surfaces ou bords convergents, ce qui permet de limiter un tel mouvement. Le placement de la structure d'immobilisation de plaquette secondaire entre et à proximité de doigts opposés du système d'immobilisation de plaquette primaire limite la déviation de la plaquette entre des points supports et ainsi permet d'empêcher d'avantage que la plaquette ne "saute" hors des supports et encoches en croix.