PRECISION SURFACE MEASUREMENT

A test surface of a test object is measured with respect to a reference surface to generate a first relative surface measurement, where the test surface is in a first position relative to the reference surface. The test surface is measured with respect to the reference surface to generate a second relative surface measurement, where the test surface is in a second position relative to the reference surface different from the first position. Estimates of a rotationally varying part of a measurement of the test surface and a rotationally varying part of a measurement of the reference surface are provided. An estimate of a rotationally invariant part of the measurement of the test surface is calculated at a plurality of radial values based on a combination of the relative surface measurements, the provided estimates, and a difference between the first and second relative positions. L'invention concerne la mesure d'une surface test d'un objet test par rapport à une surface de référence, de manière à obtenir une première mesure de surface relative, la surface test étant dans une première position par rapport à la surface de référence. La surface test est mesurée par rapport à la surface de référence, de manière à obtenir une seconde mesure de surface relative, la surface test étant dans une seconde position par rapport à la surface de référence différente de la première position. Des estimations d'une partie à variations rotatives d'une mesure de la surface test et d'une partie à variations rotatives d'une mesure de la surface de référence sont obtenues. Une estimation d'une partie invariable sur le plan rotatif de la mesure de la surface test est calculée au niveau d'une pluralité de valeurs radiales, en fonction d'une combinaison des mesures des surfaces relatives, des estimations obtenues et d'une différence entre les première et secondes positions.