FLEXIBLE HYBRID DEFECT CLASSIFICATION FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING

Hybrid methods for classifying defects in semiconductor manufacturing are provided. The methods include applying a flexible sequence of rules for defects to inspection data. The sequence of rules includes deterministic rules, statistical rules, hybrid rules, or some combination thereof. The rules included in the sequence may be selected by a user using a graphical interface The method also includes classifying the defects based on results of applying the sequence of rules to the inspection data. L'invention porte sur des procédés hybrides de classification des défauts dans la fabrication des semiconducteurs. Les procédés de l'invention consistent à appliquer une séquence flexible de règles de détermination de défauts à des données d'inspection. La séquence de règles comprend des règles déterministes, des règles statistiques, des règles hybrides ou une quelconque combinaison de celles-ci. Les règles incluses dans la séquence peuvent être choisies par un utilisateur au moyen d'une interface graphique. Le procédé consiste également à classer les défauts sur la base des résultats de l'application de la séquence de règles aux données d'inspection.