DIRECTED MULTI-DEFLECTED ION BEAM MILLING OF A WORK PIECE AND DETERMINING AND CONTROLLING EXTENT THEREOF

Method, device, and system, for directed multi-deflected ion beam milling of a work piece, and, determining and controlling extent thereof. Providing an ion beam; and directing and at least twice deflecting the provided ion beam, for forming a directed multi deflected ion beam, wherein the directed multi-deflected ion beam is directed towards, incident and impinges upon, and mills, a surface of the work piece. Device includes an ion beam source assembly; and an ion beam directing and multi-deflecting assembly, for directing and at least twice deflecting the provided ion beam, for forming a directed multi-deflected ion beam, wherein the directed multi-deflected ion beam is directed towards, incident and impinges upon, and mills, a surface of the work piece. L'invention concerne un procédé, un dispositif et un système permettant de graver une pièce à usiner par faisceau ionique orienté à déviations multiples, de spécifier et de régler ce traitement. Le procédé comporte les étapes consistant à: prévoir un faisceau ionique; et orienter et faire dévier au moins deux fois le faisceau ionique pour former un faisceau ionique orienté à déviations multiples, ledit faisceau étant dirigé sur une pièce à usiner et frappant une surface de celle-ci de manière à la graver. Le dispositif comprend un ensemble source de faisceau ionique; et un ensemble orientation et déviation multiple de faisceau ionique pour orienter et faire dévier au moins deux fois le faisceau ionique, qui permet de former un faisceau ionique orienté à déviations multiples, ledit faisceau étant dirigé sur une pièce à usiner et frappant une surface de celle-ci de manière à la graver.