METHOD FOR PROCESSING MULTIWAVELENGTH INTERFEROMETRIC IMAGING DATA

Data from an imaging interferometer producing at least three interferometric images of a surface of an object using at least three different frequencies of light illuminating the surface of the object is processed through a software data processing pipeline architecture which uses data processed by a plurality of data processors to generate a three dimensional surface profile of the surface of the object. Des données provenant d'un interféromètre d'imagerie produisant au moins trois images interférométriques d'une surface d'un objet en utilisant au moins trois fréquences différentes de rayonnement lumineux éclairant la surface de l'objet sont traitées par une architecture logicielle pipeline de traitement de données, qui utilise les données traitées par plusieurs processeurs de données pour produire un profil tridimensionnel de la surface de l'objet.