METHODS OF OPERATING MICROVALVE ASSEMBLIES AND RELATED STRUCTURES AND RELATED DEVICES

A valve assembly may include a main housing and first and second electro-statically actuated valves. The main housing may define at least three chambers, with a first chamber configured to be coupled to a high pressure supply port, a second chamber configured to be coupled to an output port, and a t...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: DAUSCH, DAVID E, GIBSON, PAUL W, HARRIS, DONALD C, DOUGLAS, KEVIN R, TEACH, WILLIAM O, GOODWIN, SCOTT H, DETTLOFF, WAYNE D
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A valve assembly may include a main housing and first and second electro-statically actuated valves. The main housing may define at least three chambers, with a first chamber configured to be coupled to a high pressure supply port, a second chamber configured to be coupled to an output port, and a third chamber configured to be coupled to a low pressure exhaust port. The first electro-statically actuated valve may be provided between the first and second chambers, and the first electro-statically actuated valve may allow or substantially block fluid communication between the first chamber and the second chamber responsive to a first electrical signal. The second electro-statically actuated valve may be provided between the second and third chambers, and the second electro-statically actuated valve may allow or substantially block fluid communication between the second chamber and the third chamber responsive to a second electrical signal. Related methods are also discussed. Un ensemble de vannes peut comprendre un boîtier principal et une première et une deuxième vannes actionnées par procédé électrostatique. Le boîtier principal peut délimiter au moins trois chambres, une première chambre étant configurée pour être couplée à un orifice d'alimentation haute pression, une deuxième chambre étant configurée pour être couplée à un orifice de sortie, et une troisième chambre étant configurée pour être couplée à un orifice d'échappement basse pression. La première vanne activée par procédé électrostatique peut être ménagée entre les première et deuxième chambres, et la première vanne actionnée par procédé électrostatique peut permettre ou sensiblement bloquer la communication fluidique entre les première et deuxième chambres en réponse à un premier signal électrique. La deuxième vanne actionnée par procédé électrostatique peut être ménagée entre les deuxième et troisième chambres, et la deuxième vanne actionnée par procédé électrostatique peut permettre ou sensiblement bloquer la communication fluidique entre les deuxième et troisième chambres en réponse à un deuxième signal électrique. L'invention concerne des procédés correspondants.