A process of manufacturing a micro-fluid ejection device
A method is provided for making a multi-fluid cartridge for holding multiple fluids in segregated containment localities. The cartridge body (10) contains fluid supply paths in fluid flow communication with the containment localities. A nozzle plate is attached to a device side of each of a pluralit...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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Zusammenfassung: | A method is provided for making a multi-fluid cartridge for holding multiple fluids in segregated containment localities. The cartridge body (10) contains fluid supply paths in fluid flow communication with the containment localities. A nozzle plate is attached to a device side of each of a plurality of defined ejection head substrates (44) on a semiconductor wafer. Each of the ejection head substrates has a fluid supply side and two or more fluid flow paths therein for supplying fluid from the supply side to the device side thereof. The fluid flow paths in the ejection head substrates have a flow path density of greater than about 1.0 flow paths per millimeter. The wafer is diced to provide a plurality of micro-fluid ejection device structures. A circuit device (52) is attached to the device side of each of the substrates. An adhesive (56) is stencil printed with a bond line density of at least about 1.2mm-1 on the micro-fluid ejection device structures or on the cartridge body. At least one of the micro-fluid ejection device structures and attached circuit is adhesively bonded to the cartridge body for flow of fluid from the containment localities to the device side thereof.
La présente invention concerne un procédé de fabrication de cartouche de microfluides destinée à contenir de multiples fluides dans des sites de confinement séparés. Le corps de cartouche contient des trajets de fourniture de fluide en communication fluidique avec ces sites de confinement. Une plaque de buses est fixée au côtés d'un dispositif de chacun des substrats de tête d'éjection définis sur une plaquette à semi-conducteur. Chacun de ces substrats de tête d'éjection possède un côté de fourniture de fluide et au moins deux trajets d'écoulement de fluide à l'intérieur de ceux-ci destinés à fournir un fluide du côté fourniture au côté du dispositif de celui-ci. Ces trajets fluidiques dans les substrats de tête d'éjection possèdent une densité de trajet d'écoulement supérieure à environ 1,0 trajet d'écoulement par mm. La plaquette est découpée en dés de façon à fournir une pluralité de structures de dispositifs d'éjection de microfluide. Un dispositif de circuit est fixé au côté du dispositif de chacun des substrats. Un adhésif est imprimé au stencil avec une densité de lignes de liaison d'au moins environ 1,2mm-1 sur les structures de dispositifs d'éjection de micro fluide ou sur le corps de cartouche. Au moins une des structures de dispositifs d'éjection de micro fluide et un cir |
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