ELECTRON BEAM SOURCE, AND ELECTRON-BEAM APPLICATION DEVICE

An electron gun having a simple configuration and a small aberration. A magnetic-field superposed electron source comprising an electric field radiation type electron source (4) having a leading end portion of a diameter of not more than 100 nm and immersed in a magnetic field, and an outgoing electrode (2). A major source for generating the magnetic field is a permanent magnet (3) disposed in the same vacuum container as that of the electron source. The permanent magnet has such a shape as is generally axially symmetric with respect to a center axis in the electron emitting direction, as viewed from the leading end of the electron source, so that the magnetic polarization is axially symmetric in the center axis direction or in the radial direction. A magnetic flux is applied to the electron source by connecting it directly or through a magnetic pole (1) made of a soft magnetic material, with the electron source, so that the potentials of the permanent magnet and the magnetic pole are made identical to that of the electron source or the outgoing electrode. Canon á électrons ayant une configuration simple et une petite aberration. Une source à électrons de champ magnétique superposé comprenant une source d'électrons du type à radiation de champ (4) ayant une portion d'extrémité conductrice de diamètre pas supérieur à 100 nm et immergée dans un champ magnétique et un électrode de sortie (2). Une source majeure pour générer le champ magnétique est un aimant permanent (3) disposé dans le même récipient à vide que celui de la source à électrons. L'aimant permanent présente une forme du type qui est généralement symétrique par rapport à l'axe central dans la direction d'émission d'électron telle que depuis l'extrémité de guidage de la source d'électron de sorte que la polarisation magnétique est symétriquement axiale dans la direction de l'axe central ou dans la direction radiale. Un flux magnétique est appliqué á la source d'électrons en la connectant directement ou par un pole magnétique (1) fait d'un matériau magnétique doux avec la source d'électrons de sorte que les potentiels de l'aimant permanent et du pôle magnétique sont identiques à celui de la source d'électrons du de l'électrode de sortie.