EXPOSURE EQUIPMENT

A stage member having a high resistance and resonance frequency against torsional oscillation is provided. The stage member has a honeycomb structure wherein a square pole shaped space part is provided and a wall constituting the space part is arranged vertical to a torsional deformation direction....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SUGAYA, TOMOYUKI, ISHII, MAMORU, MORIYAMA, SHIROU, HIROSE, MASATAKA, UMEZU, MOTOHIRO, OHMI, TADAHIRO, SASAKI, SHUNICHI, TAKEHISA, KIWAMU, KATAOKA, MASAKO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; jpn
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A stage member having a high resistance and resonance frequency against torsional oscillation is provided. The stage member has a honeycomb structure wherein a square pole shaped space part is provided and a wall constituting the space part is arranged vertical to a torsional deformation direction. Exposure equipment including such stage member is also provided. The honeycomb structure of the stage member is desirably constituted of ceramics. Il est prévu un élément de platine présentant une grande résistance et une fréquence de résonance élevée vis-à-vis des oscillations de torsion. L'élément de platine comprend une structure alvéolaire dans laquelle une partie d'espace en forme de poteau carré est prévue et une paroi constituant la partie d'espace est disposée verticalement par rapport à une direction de déformation en torsion. Il est également prévu un équipement d'exposition comportant un élément de platine de ce type. La structure alvéolaire de l'élément de platine est préférablement constituée de céramiques.