CONTAINER OPENING AND CLOSING DEVICE AND CONTAINER MOUNTING POSITION ADJUSTING METHOD FOR THE DEVICE
A container opening and closing device (1) comprising a dock plate (31) for mounting and positioning a container (10) capable of containing semiconductor wafers (14), a dock moving mechanism (30) for moving the dock plate (31) between a container delivery position and a work position where a contain...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; jpn |
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Zusammenfassung: | A container opening and closing device (1) comprising a dock plate (31) for mounting and positioning a container (10) capable of containing semiconductor wafers (14), a dock moving mechanism (30) for moving the dock plate (31) between a container delivery position and a work position where a container door (13) is fixed and removed, a port door (23) having a mechanism for fixing/removing and holding the container door (13), a port door advancing/retreating mechanism for moving the port door (23) horizontally, a port door lifting and lowering mechanism for moving the port door (23) vertically, with the port door (23) holding the container door (13), in order to stow the container door (13), and a port plate (21) having an opening closed by the port door (23). The dock moving mechanism (30) has a means for altering the stopping position of the dock plate (31) to a desired position.
Dispositif d'ouverture et de fermeture de conteneur (1) comportant une plaque de liaison (31) pour monter et positionner un conteneur (10) capable de contenir des plaquettes de semi-conducteurs (14), un mécanisme de déplacement de liaison (30) servant à déplacer la plaque de liaison (31) entre une position de livraison de conteneur et une position de travail à laquelle une porte de conteneur (13) est fixée et retirée, une porte à orifice (23) dotée d'un mécanisme pour fixer/retirer et tenir la porte du conteneur (13), un mécanisme pour faire avancer/reculer la porte à orifice déplaçant la porte à orifice (23) à l'horizontale, un mécanisme pour faire monter/descendre la porte à orifice déplaçant la porte à orifice (23) à verticale, la porte à orifice (23) tenant la porte de conteneur (13) de manière à ranger la porte de conteneur (13), et une plaque à orifice (21) dotée d'une ouverture fermée par la porte à orifice (23). Le mécanisme moteur de liaison (30) possède un moyen pour modifier la position d'arrêt de la plaque de liaison (31) à une position souhaitée. |
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