DYNAMICALLY BALANCED CAPACITIVE PICK-OFF ACCELEROMETER

A Micro Electro-Mechanical System (MEMS) acceleration sensing device formed of a silicon substrate having a substantially planar surface; a pendulous sensing element having a substantially planar surface suspended in close proximity to the substrate planar surface; a flexure suspending the sensing element for motion relative to the substrate planar surface, the flexure having a both static geometric centerline and a dynamic centerline that is offset from the static geometric centerline; and a metal electrode positioned on the substrate surface for forming a capacitor with the pendulous sensing element, the metal electrode being positioned as a function of the dynamic centerline of the flexure. L'invention porte sur un capteur d'accélération d'un système microélectromécanique (MEMS) constitué d'un substrat de silicium présentant une surface sensiblement plane; un élément de détection pendulaire ayant une surface sensiblement plane est suspendu tout à proximité de la surface sensiblement plane; un élément flexible maintenant en suspension l'élément de détection de sorte que celui-ci se déplace par rapport à la surface plane du substrat, l'élément flexible ayant à la fois une ligne centrale géométrique statique et une ligne centrale dynamique décalée de la ligne centrale géométrique statique; et une électrode métallique positionnée sur la surface du substrat de façon à former un condensateur pourvu de l'élément de détection pendulaire, l'électrode métallique étant positionnée en fonction de la ligne centrale dynamique de l'élément flexible.