METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING FRONT SURFACE SHAPE

A method and an apparatus are provided for accurately inspecting characteristics of a front surface shape by eliminating influences of a rear surface reflection image by a low-cost apparatus constitution. First, a stripe pattern (1), which has a light and dark pattern and in which a reflection image made by being reflected by a front surface of a transparent board-shaped body (3) (object to be inspected) and a reflection image made by being reflected by a rear surface of the transparent board-shaped body are set to separate by an image signal obtained by image pickup, is decided, as a stripe pattern suitable for the transparent board-shaped body. Then, by using the decided stripe pattern (1), the front surface shape of the transparent board-shaped body (3) is evaluated by image analysis by using only the reflection image made by being reflected by the front surface of the transparent board-shaped body (3) of the stripe pattern (1). Une méthode et un appareil permettent l'inspection précise et exacte des caractéristiques d'une forme de surface frontale en éliminant les influences d'une image réfléchie d'une surface arrière par un appareil bon marché. Premièrement, un motif de rayures pattern (1), au motif clair et obscur et dans lequel une image réfléchie depuis la surface avant d'un corps transparent en forme de planche (3) (objet devant être inspecté) et une image réfléchie par la surface arrière d'un corps transparent en forme de planche sont séparés par un signal de l'image obtenu par une prise de l'image, est décidé comme un motif à rayures approprié pour le corps transparent en forme de planche. Ensuite, en utilisant le motif à rayures choisi (1), la forme de surface avant du corps transparent en forme de planche (3) est évaluée par une analyse de l'image en utilisant seulement l'image réfléchie envoyée par la surface avant du corps transparent en forme de planche (3) du motif à rayures (1).