PROCESS MODULE TUNING

A process module tuning method characterizes a process module by gathering data using a process condition measuring device to measure process outputs while inputs are excited. The data is used to identify a dynamic process model. The dynamic process model is then be used to determine process input settings that will produce desired outputs. For multi-zone process modules, the interactions between zones may be modeled. L'invention concerne un procédé de réglage de module de traitement se caractérisant en ce qu'il consiste à rassembler des données au moyen d'un dispositif de mesure de condition de traitement servant à mesurer des sorties de traitement pendant que des entrées sont excitées. Ces données sont ensuite utilisées pour identifier un modèle de traitement dynamique. Ledit modèle est alors utilisé pour déterminer des paramètres d'entrées de traitement qui produiront des sorties désirées. Pour les modules de traitement multizones, les interactions entre les zones peuvent être modélisées.