METHOD FOR STRUCTURING AT LEAST ONE LAYER AND ELECTRIC COMPONENT WITH STRUCTURES FROM SAID LAYER

Die Erfindung gibt ein Verfahren zur Erzeugung von zumindest einer strukturierten Schicht (10A) an, wobei eine Maskenstruktur (20) mit einer ersten (20A) und einer zweiten Struktur (20B) auf einer auf einem Substrat (5) befindlichen Schicht (10) erzeugt wird. Durch diese Maskenstruktur (20) hindurch...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	VOELKL, JOHANNES, HACKENBERGER, MAJA, ZEISEL, ROLAND
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS RESONATORS SEMICONDUCTOR DEVICES
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