HIGH PRESSURE CAPILLARY MICRO-FLUIDIC VALVE DEVICE AND A METHOD OF FABRICATING SAME

A freeze-thaw valve and a method of micro-machining the freeze-thaw valve is provided and includes a valve housing, wherein the valve housing defines a housing cavity and includes a housing inlet, a housing vent, a capillary tubing inlet and a capillary tubing outlet. A valve body is provided, at least a portion of which is lithographically constructed, wherein the valve body includes a refrigerant inlet, a refrigerant outlet and an expansion chamber. The expansion chamber is disposed to communicate the refrigerant inlet with the refrigerant outlet and includes a restriction region having a flow restriction. Additionally, the valve body is disposed within the housing cavity to form an insulating channel between the valve housing and the valve body. L'invention concerne une valve de congélation-décongélation et un procédé de micro-usinage correspondant. La valve comprend une enceinte qui définit une cavité et qui comprend une admission, un orifice, une admission de tube capillaire et une sortie de tube capillaire. Un corps de valve est prévu, ayant au moins une partie à réalisation lithographique, ledit corps comprenant une admission de réfrigérant, une sortie de réfrigérant et une chambre d'expansion Cette chambre met en communication l'admission et la sortie de réfrigérant et comprend une zone de restriction à restriction de flux. Enfin, le corps de valve se trouve dans la cavité, formant un canal d'isolation entre l'enceinte et le corps de valve.