IMAGING ELLIPSOMETER WITH A SYNCHRONIZED SAMPLE ADVANCE AND ELLIPSOMETRIC MEASURING METHOD

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur bildgebenden, ellipsometrischen Erfassung einer hauptsächlich flächig ausgedehnten Probenanordnung (10), bei dem die Probenanordnung wenigstens bereichsweise mittels einer Beleuchtungsanordnung mit Beleuchtungslicht einstellbarer Polarisationseigenschaften unter einem zur Probennormalen geneigten Beleuchtungswinkel (phi) beleuchtet wird, von beleuchteten Bereichen der Probe (10) reflektiertes Detektionslicht in einer unter einem geeigneten, zur Probennormalen geneigten Beleuchtungswinkel (phi) angeordneten, polarisationssensitiven Detektionsanordnung auf einen gesteuert auslesbaren Detektor (12) mit einer Mehrzahl geordneter, photosensitiver Detektorelemente abgebildet wird, Parameter des Abbildens von Probenbereichen auf den Detektor (12) variiert werden und wenigstens ein Auslesebereich (12a; 12b) des Detektors (12) in synchroner Weise zu der Variation der Abbildungsparameter zur Erzeugung von Probenbereiche repräsentierenden Bildern ausgelesen wird. The invention relates to a method and device for the imaging ellipsometeric detection of an, in essence, flatly extending sample array (10). According to the invention, the sample array is, by means of an illuminating arrangement, illuminated at least in areas and at an illuminating angle ( ) diagonal to the sample normal with illuminating light having adjustable polarizing properties. Detection light, which is reflected by illuminated areas of the sample (10), in a polarization-sensitive detection arrangement, which is situated at an illuminating angle ( ) diagonal to the sample normal, is projected onto a detector (12), which can be read out in a controlled manner and which has a number of ordered photosensitive detector elements. Parameters of the projection of sample areas onto the detector (12) are varied. At least one read-out area (12a; 12b) of the detector (12) is read out synchronous to the variation of the imaging parameters in order to generate images representative of sample areas. L'invention concerne un procédé et un dispositif permettant de détecter par voie ellipsométrique et avec formation d'images, un système d'échantillons (10) s'étendant sensiblement en nappe. Selon ce procédé, le système d'échantillons est éclairé, au moins par endroits, par un système d'éclairage, avec une lumière d'éclairage aux propriétés de polarisation ajustables, à un angle d'éclairage (