DEVICE MANUFACTURING METHOD AND SUBSTRATE COMPRISING RADIATION SENSITIVE MATERIAL

A method of producing a T-gate in a single stage exposure process using electromagnetic radiation is disclosed. L'invention concerne un procédé pour produire une grille en T lors d'un processus de sensibilisation à une étape, au moyen d'un rayonnement électromagnétique.

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	PELLENS, RUDY, JAN, MARIA
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	A method of producing a T-gate in a single stage exposure process using electromagnetic radiation is disclosed. L'invention concerne un procédé pour produire une grille en T lors d'un processus de sensibilisation à une étape, au moyen d'un rayonnement électromagnétique.