ADAPTIVE REAL TIME CONTROL OF A RETICLE/MASK SYSTEM

An adaptive real time thermal processing system is presented that includes a multivariable controller (260). Generally, the method (1600) includes creating a dynamic model of the thermal processing system (1630); incorporating reticle/mask curvature in the dynamic model; coupling a diffusion-amplification model into the dynamic thermal model; creating a multivariable controller; parameterizing the nominal setpoints into a vector of intelligent setpoints (1650); creating a process sensitivity matrix; creating intelligent setpoints using an efficient optimization method and process data; and establishing recipes that select appropriate models and setpoints during run-time. L'invention concerne un système de traitement thermique adaptatif en temps réel comprenant un contrôleur multivariable (260). D'une manière générale, le procédé (1600) consiste à créer un modèle dynamique du système de traitement thermique (1630); à incorporer une courbure de réticule/masque dans le modèle dynamique; à coupler un modèle de diffusion/amplification dans le modèle thermique dynamique; à créer un contrôleur multivariable; à paramétrer les points de consigne nominaux en un vecteur de points de consigne intelligents (1650); à créer une matrice de sensibilité de processus; à créer des points de consigne intelligents à l'aide d'un procédé d'optimisation efficace et de données de processus; et à établir des solutions sélectionnant les modèles et les points de consigne appropriés pendant le temps d'exécution.