SENSOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF

Sensor mit siliziumhaltigen Bauteilen an dessen sensitivem Detektionselement elektrische Signale entsprechend einem vorhandenen Analyten mittels eines Siliziumhalbleitersystems auslesbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass die siliziumhaltigen Bauteile zur Vermeidung von Störsignalen aufgrund von F...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	EISELE, IGNAZ, KNITTEL, THORSTEN, BURGMAIR, MARKUS
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Sensor mit siliziumhaltigen Bauteilen an dessen sensitivem Detektionselement elektrische Signale entsprechend einem vorhandenen Analyten mittels eines Siliziumhalbleitersystems auslesbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass die siliziumhaltigen Bauteile zur Vermeidung von Störsignalen aufgrund von Feuchtigkeit mit einer Schicht aus hydrophobem Material belegt sind. The invention concerns a sensor with silicon-containing components from whose sensitive detection element electrical signals relevant to a present analyte can be read out by means of a silicon semiconductor system. The invention is characterized in that the silicon-containing components are covered with a layer made of hydrophobic material in order to prevent unwanted signals caused by moisture. L'invention concerne un détecteur comprenant des composants à base de silicium, au niveau de l'élément de détection sensible duquel des signaux électriques peuvent être lus par un système semi-conducteur au silicium, sur la base d'un analyte présent. Ledit détecteur se caractérise en ce que les composants à base de silicium sont recouverts d'une couche de matériau hydrophobe pour éviter la formation de signaux parasites, sous l'effet de l'humidité.