CHUCK WITH INTEGRATED WAFER SUPPORT

An improved chuck with lift pins within a probe station. L'invention concerne un mandrin amélioré équipé de tiges de levage à l'intérieur d'une station de sonde.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ANDREWS, PETER, DUNKLEE, JOHN, FROEMKE, BRAD
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	An improved chuck with lift pins within a probe station. L'invention concerne un mandrin amélioré équipé de tiges de levage à l'intérieur d'une station de sonde.