NEW MATERIAL AND METHOD OF FABRICATION THEREFOR
The present invention concerns new methods of fabricating a silicon material comprising phosphorus. The methods allow high levels of phosphorus to be combined with the silicon. In one aspect of the invention a sample of phosphorus is surrounded with a sample of silicon. At least some of the phosphor...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | The present invention concerns new methods of fabricating a silicon material comprising phosphorus. The methods allow high levels of phosphorus to be combined with the silicon. In one aspect of the invention a sample of phosphorus is surrounded with a sample of silicon. At least some of the phosphorus is then vaporised and caused to interact with the silicon.
La présente invention se rapporte à de nouveaux procédés de fabrication d'une matière à base de silicium comportant du phosphore. Ces procédés permettent la combinaison de taux élevé de phosphore avec le silicium. Dans un mode de réalisation de l'invention, un échantillon de phosphore est entouré d'un échantillon de silicium. Au moins une partie du phosphore est ensuite vaporisée puis amenée à interagir avec le silicium. |
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