ACTIVE WAFER PROBE
A probe suitable for probing a semiconductor wafer that includes an active circuit (16). The probe may include a flexible interconnection (14) between the active circuit (16) and a support structure (10). The probe may impose a relatively low capacitance on the device under test. Sonde servant à son...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| Zusammenfassung: | A probe suitable for probing a semiconductor wafer that includes an active circuit (16). The probe may include a flexible interconnection (14) between the active circuit (16) and a support structure (10). The probe may impose a relatively low capacitance on the device under test.
Sonde servant à sonder une tranche de semi-conducteur et comprenant un circuit actif. Cette sonde peut comporter une interconnexion souple entre le circuit actif et une structure de support. Cette sonde peut imposer une capacité relativement basse sur le composant examiné. |
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