METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING THE OUTPUT OF A GAS DISCHARGE MOPA LASER SYSTEM

A method and apparatus are disclosed for controlling the output of two-chamber gas discharge laser may include an oscillator gas discharge laser and an amplifier gas discharge laser that include establishing a multidimensional variable state space including a coordinate system having at least two coordinates each coordinates includes a selected variable representing an operating parameter o the oscillator or the amplifiers; tracking a multidimensional operating point in the multidimensional variable state space according to the variation of the selected variables in either or both of the oscillator or the amplifier to determine the position of the multidimensional operating point in the multidimensional state space; determining from the position of the multidimensional operating point a region from the plurality of defined regions in the multidimensional operating space; based upon the identity of the identified region, and parameters of that region relative to the condition of an actuator in each of the oscillator and the amplifier, determining the necessary modification to the actuator for each of the oscillator and the amplifier to attempt to move the multidimensional operating point from the parameters indicated by the position of the multidimensional operating point being in the particular region to a preselected region in the coordinate system. La présente invention a trait à un procédé et un système pour le contrôle de la sortie d'un laser à décharge de gaz à deux chambres comportant un laser de décharge de gaz à oscillateur et un laser de décharge de gaz à amplificateur pouvant comprendre l'établissement d'un espace d'état variable multidimensionnel comprenant un système de coordonnées ayant au moins deux coordonnées, chaque coordonnée comportant un variable choisi représentant un paramètre de fonctionnement de l'oscillateur ou de l'amplificateur, le repérage d'un point de fonctionnement multidimensionnel dans l'espace d'état variable multidimensionnel selon la variation des variables choisis dans un parmi l'oscillateur et l'amplificateur ou les deux pour déterminer la position du point de fonctionnement multidimensionnel dans l'espace d'état multidimensionnel ; la détermination à partir du point de fonctionnement multidimensionnel d'une zone parmi une pluralité de zones définies dans l'espace de fonctionnement multidimensionnel dans laquelle le point de fonctionnement multidimensionnel est situé et l'identification de la zone.